主な特長

慣性計測ユニット(IMU)

慣性計測ユニット(IMU)
  • 6自由度(角速度3軸および加速度3軸)
  • 高安定、高精度を実現
  • 産業・工業システムで機器の挙動解析や回転・並進運動の解析など幅広い用途に最適

慣性計測ユニット(IMU)の製品情報を見る

傾斜計&振動計

傾斜計&振動計
  • 分解能0.06uG/LSBでの高精度な計測
  • 出力レート(UART)が1,000Sps
  • 振動計、傾斜計がそれぞれ有していた機能を、1機種で担える汎用性

傾斜計&振動計の製品情報を見る

傾斜計

傾斜計
  • 機械サーボクラスの性能で低消費電力
  • 屋外で使用可能な防塵・防滴品をラインアップ(IP67)
  • 低ドリフト水晶加速度センサーを搭載
  • 4種のデジタルインターフェイスより選択可能(SPI/UART/RS-422/CAN)

傾斜計の製品情報を見る

振動計

振動計
  • 機械サーボクラスの性能で低消費電力
  • 屋外で使用可能な防塵・防滴品をラインアップ(IP67)
  • 低ドリフト水晶加速度センサーを搭載
  • 4種のデジタルインターフェイスより選択可能(SPI/UART/RS-422/CAN)

振動計の製品情報を見る

正確・小型・省電力
センシングシステムを小型化すると、一般的に性能が劣化します。しかし、市場が求めているのは、小型化しても性能が変わらないセンシングシステムです。小型、低消費電流、高安定、高周波、高精度。エプソンは、これらの市場ニーズに対応したセンシングシステムをQUARTZ(クォーツ・水晶)を素材に実現しています。それが「QMEMS」です。
(注)QMEMSはセイコーエプソン株式会社の登録商標です。

QMEMSとは
高安定・高精度などのすぐれた特性を持つ水晶素材である「QUARTZ」と、「MEMS」(微細加工技術)を組み合わせた造語です。半導体を素材としたMEMSに対して、水晶素材をベースに精密微細加工を施し、小型・高性能を提供するセンシングシステムや水晶デバイスを「QMEMS」と呼びます。
市場が求めるセンシングシステム
QMEMS
デジタル
AD変換不要で、柔軟なシステム構築が容易。
アナログとデジタルのシステム構成の違い
簡単
ドライバー(ネジ)で設置可能。
I/Fから給電可能(CAN接続の場合)
延長可能(~1,000m(注1)

(注1)I/Fの規格により異なる。
ドライバー(ネジ)で設置可能